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半導体製造装置の開発・製造を行う東京エレクトロン宮城は、急速な技術革新に対応するため新たな開発施設を完成させた。
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宮城県大和町の東京エレクトロン宮城本社では関係者が集まり、新たな開発施設の竣工を祝った。
竣工したのは、本社敷地内で3棟目となる「第3開発棟」。
建設費520億円をかけた免震構造の3階建てで延べ床面積は4万6000平方メートル。
プラズマを使って微細な電子回路を形成するエッチング装置など、高い技術力を武器に新たな「半導体製造装置」を開発する。
操業開始は今年9月の予定だ。
東京エレクトロン宮城 神原弘光
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