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【今日のニュース要約】
ルトニック米商務長官がASMLの幹部に、EUVリソグラフィ装置が輸出規制に違反する形で中国に渡った可能性があると直接伝えたとブルームバーグが報じました。ASMLはこれを強く否定し、「現在世界で稼働しているEUVマシンは314台、中国国内には1台も存在しない」と文書を作成してワシントンで配布しました。さらに「スクールバスほどの大きさで継続的なメンテナンスが必要なため秘密裏の移送は極めて困難だ」と説明しています。一方で米国政府は「機密性が高く公開できない証拠がある」と述べており、双方の主張が真っ向から対立しています。
【日本への影響】
EUVリソグラフィ装置は日本の半導体装置メーカーも部品を供給しており、この対立が規制強化に発展すれば日本の半導体装置産業にも影響が出るとみられます。
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