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「中国は独自でEUVを開発できる」という声をよく聞きますが、実態は全く異なります。EUV装置には5万点以上の精密部品が必要で、米・独・日など世界中の技術の集大成。短期間での再現は事実上不可能とされており、中国の自給化には10年以上の時間軸が必要という見方が主流です。
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